Fraunhofer HHI избира системата за разпръскване на Veeco

Институтът за изследвания на оптични телекомуникации поръчва система за разпръскване на йонни лъчи за създаване на лазерни фасетни покрития и микрооптични устройства.
COATING

HHI ще използва IBS технологията на Veeco за създаване на лазерни фасетни покрития.

Veeco Instruments обяви, че е доставил своята система Spector Ion Beam Sputtering (IBS) и Sirius Optical Monitor System до Институт Фраунхофер за Телекомуникации(HHI).
Институтът, базиран в Берлин, Германия, казва, че ще използва тази IBS технология „за разработване и производство на лазерни фасетни покрития и други микрооптични устройства“.
„Разработването на усъвършенствани микрооптични устройства изисква изключителна технология на разпрашаване“, коментира Грета Ропърс, ръководител на групата за опазване и опаковане на Fraunhofer.
„Системата на Veeco Spector, заедно със Sirius OMS, ще гарантира, че разработваме и произвеждаме устройства от световна класа с най-висока производителност и повторяемост на процесите на автоматизирана, утвърдена платформа.“

Оптични тънки филми
Платформата Spector генерира висококачествени оптични тънки филми с подобрени нива на производителност и производителност, според клиентите. За разлика от изпарителните покрития, разпръснатите с йонни лъчи тънки филми се отлагат при високи енергии, което дава изключителен контрол на дебелината и ниска плътност на дефектите за лазерно покритие. Sirius OMS подобрява способността на платформата Spector чрез свързване на широколентов мониторингов контрол със стабилността на депозирани от йонни лъчи филми .
„Световният лидер на Fraunhofer HHI в разработването на лазерно фасетно покритие от следващо поколение и микрооптични устройства,“ каза д-р Адриан Девасахаям, вицепрезидент и генерален мениджър на бизнеса на Veeco Advanced Deposition and Etch (AD&E). „Системата Spector осигурява несравнимо качество и гъвкавост за прецизно оптично покритие на тънки филми и ще ускори целите им за развитие.“
Финансирането за този проект беше предоставено от Forschungsfabrik Mikroelektronik, изследователска фабрика за микроелектроника и наноелектроника, която компрометира единадесет института от групата Fraunhofer, заедно с иновациите за високоефективна микроелектроника и Института на Фердинанд-Браун, Лайбниц-Институт за Höchstfrequenztechnik. Системата е продадена в сътрудничество с европейския партньор на Veeco,Veonis Technologies.


Време за публикуване: 31 октомври 2019 г.